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[原] TP8000型“高温氢还原-火焰光度气相色谱仪”简介
2011-05-12 15:30 | 公司动态 | 278 0

（测定三氯氢硅中痕量磷专用仪器）一、前言半导体硅材料中磷含量的高低，直接影响器件的电性能。随着硅材料研究及生产的不断提高，对于原材料三氯氢硅中磷的测试灵敏度、速度、准确度提出更高要求。三氯氢硅中杂质磷的分析，传统的方法为将杂质磷转变成磷钼杂多酸，再还原成磷钼蓝进行比色测定。在此基础上后来有改进，诸如经苯肟酮或硫氰化铵比色测定钼，或利用化学光谱法测出钼量... 查看全文

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